Вакуумні камери забезпечують отримання середнього та високого вакууму і оснащені системами нагрівання, термічного та електронно-променевого випаровування
Пробопідготовка діелектричних зразків до SEM досліджень; гомогенізаційний відпал MAX-фаз; нанесення функціональних покриттів на підкладки різної природи; формування тонкоплівкових систем
Високовакуумна система: наявні установки, оснащені дифузійними, турбомолекулярними та гетерними (НОРД, ОГІН) насосами
Система випаровування: термічне випаровування; електронно-променеве випаровування.
Мінімальний тиск залишкових газів: 10-5–10-8 Тор (визначається установкою, що використовується).